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- 基于壓力傳感器的溫度控制系統(tǒng)設計
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來源:網(wǎng)絡2012-9-14關鍵詞:工業(yè)自動化壓力傳感器溫度控制系統(tǒng) O引言 在微電子器件領域,針對SiC器件的研究較多,已經(jīng)取得了較大進展,而在MEMS領域針對SiC器件的研究仍有許多問題亟待解決。在國內(nèi),SiCMEMS的研究非常少,因而進行SiC高
2012-09-14 11:52:12