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- MEMS壓力傳感器綜合性能分析
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來源：網(wǎng)絡(luò)2012-9-2關(guān)鍵詞：工業(yè)自動化壓力傳感器傳感技術(shù) MEMS壓力傳感器是基于MEMS(微機電)技術(shù)，建立在微米 納米基礎(chǔ)上，在單晶硅片上刻融制作惠斯登電橋組成的硅應(yīng)變計，這樣制造的壓力傳感器具有輸出靈敏度高，性能穩(wěn)定，批量可靠性、
2012-09-02 11:52:39
