-
- 中國電科國產(chǎn)離子注入機入選“2023年度央企十大國之重器”
-
1月2日，“2023年度央企十大國之重器”評選結(jié)果揭曉，“中國電科實現(xiàn)國產(chǎn)離子注入機28納米工藝全覆蓋”成功入選。
2024-01-04 17:10:32
-
- 芯片制造關(guān)鍵設(shè)備再突破！離子注入機實現(xiàn)全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化
-
中國電子科技集團有限公司17日對外公布，該集團旗下裝備子集團攻克系列“卡脖子”技術(shù)，已成功實現(xiàn)離子注入機全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化，包括中束流、大束流、高能、特種應(yīng)用及第三代半導(dǎo)體等離子注入機，工藝段覆蓋至28nm，為我國芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈補上重要一環(huán)。
2021-03-17 11:41:29
