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- 系統(tǒng)級解決方案HPOTM——Holistic Process Optim HPOTM|首屆EDA國際研討會ISEDA盛大召開 東方晶源受邀亮相展現(xiàn)最新成果
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HPOTM方案涉及到可制造性感知的物理設(shè)計、基于設(shè)計時序的OPC，以及在時序關(guān)鍵路徑和工藝熱點的指導(dǎo)下進(jìn)行晶圓缺陷檢查。據(jù)施偉杰博士介紹，通過已經(jīng)完成的實驗證明上述全芯片DTCO較以往的解決方案有很大的改善 。
2023-05-16 10:33:39
