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- 艾邁斯歐司朗與愛思強(qiáng)攜手共進(jìn)|全自動(dòng)AsP反應(yīng)器，提供全自動(dòng)“檢測(cè)盒到檢測(cè)盒”晶圓裝載以及基于原位蝕刻的清潔機(jī)制
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愛思強(qiáng)的新型G10-AsP外延工具經(jīng)過精心設(shè)計(jì)，旨在滿足這項(xiàng)應(yīng)用的特殊需求。這項(xiàng)全新工具是世界首款全自動(dòng)AsP反應(yīng)器，提供全自動(dòng)“檢測(cè)盒到檢測(cè)盒”晶圓裝載以及基于原位蝕刻的清潔機(jī)制。該新工具擁有精確的流量和溫度控制功能，能在連續(xù)運(yùn)行時(shí)保持非常好的材料均勻性。
2023-02-16 11:18:39
