沈陽(yáng)自動(dòng)化所科研團(tuán)隊(duì)提出多層復(fù)合玻璃厚度高精度測(cè)量新方法
【ZiDongHua 之創(chuàng)新自科文收錄關(guān)鍵詞: 沈陽(yáng)自動(dòng)化所 光譜相機(jī) 光學(xué)】
科研新動(dòng)態(tài)|沈陽(yáng)自動(dòng)化所科研團(tuán)隊(duì)提出多層復(fù)合玻璃厚度高精度測(cè)量新方法
近日,中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所科研團(tuán)隊(duì)針對(duì)多層復(fù)合玻璃厚度測(cè)量,提出了一種基于正交色散的大量程高精度譜域光學(xué)低相干測(cè)量方法。該研究成果于近期在線發(fā)表于國(guó)際儀器測(cè)量領(lǐng)域期刊IEEE TRANSACTIONS ON INSTRUMENTATION AND MEASUREMENT(中國(guó)科學(xué)院2區(qū)TOP期刊,影響因子5.6)。
多層復(fù)合玻璃測(cè)量
多層復(fù)合玻璃用途廣泛,普遍采用“有機(jī)玻璃-透明聚碳酸酯-有機(jī)玻璃”的異質(zhì)多層復(fù)合式結(jié)構(gòu),其性能取決于加工過(guò)程中對(duì)多層復(fù)合玻璃中間耦合層(透明聚碳酸酯)的厚度的控制。然而現(xiàn)有測(cè)量方法大多只能測(cè)量多層復(fù)合玻璃的外層廓形及粗糙度,難以測(cè)量中間層的厚度、廓形以及結(jié)合面平整度,導(dǎo)致多層復(fù)合玻璃性能與理論設(shè)計(jì)無(wú)法閉環(huán),制約了其性能的精確評(píng)價(jià)與調(diào)控。
為了解決上述問(wèn)題,沈陽(yáng)自動(dòng)化所研究團(tuán)隊(duì)提出了一種基于正交色散的大量程高精度譜域光學(xué)低相干測(cè)量方法??蒲腥藛T通過(guò)使用虛像相控陣列和光柵搭建的正交色散系統(tǒng),將干涉光信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)槊嫔⒐庑盘?hào);利用光譜相機(jī)采集面色散光信號(hào),并通過(guò)信號(hào)解調(diào)技術(shù)對(duì)面色散光信號(hào)進(jìn)行解調(diào),從而得到玻璃厚度??蒲袌F(tuán)隊(duì)利用該方法開展了測(cè)量試驗(yàn)。結(jié)果表明,該方法可測(cè)量最大厚度為41mm的多層復(fù)合玻璃,最大測(cè)量速度440點(diǎn)/秒,最優(yōu)測(cè)量精度0.005mm。
該研究成果得到了國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃、博士后面上科學(xué)基金、遼寧省中央引導(dǎo)地方科技發(fā)展專項(xiàng)等項(xiàng)目的支持。
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