【邁出集成電路制造輔助設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的第一步--12英寸晶圓倒片機(jī)】近日，由北京自動(dòng)化技術(shù)研究院自主研發(fā)的首臺(tái)12英寸晶圓倒片機(jī)設(shè)備進(jìn)入中芯國(guó)際北京B1進(jìn)行驗(yàn)證。通過(guò)北京自動(dòng)化技術(shù)研究院全體員工的努力和中芯國(guó)際的大力支持，截止發(fā)稿日期，順利完成了機(jī)臺(tái)的安裝調(diào)試工作，實(shí)現(xiàn)了sorter的主要功能。