MEMS壓力傳感器綜合性能分析
來源：網(wǎng)絡(luò) 2012-9-2 關(guān)鍵詞：工業(yè)自動(dòng)化 壓力傳感器 傳感技術(shù) MEMS壓力傳感器是基于 MEMS(微機(jī)電)技術(shù)，建立在微米/納米基礎(chǔ)上，在單晶硅片上刻融制作惠斯登電橋組成的硅應(yīng)變計(jì)，這樣制造的壓力傳感器具有輸出靈敏度高，性能穩(wěn)定，批量可靠性、重復(fù)性好等優(yōu)點(diǎn)。下面從傳感器的制作工藝、結(jié)構(gòu)兩方面分析一下MEMS壓力傳感器綜合性能?！ ∠冗M(jìn)的制作工藝 經(jīng)500℃
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西凱昂：SMC氣動(dòng)元件、力士樂液壓元件、倍加福光電產(chǎn)品等 山東諾方： 顆粒物傳感器、粉塵濃度傳感器
深圳金瑞銘：RFID射頻識(shí)別、智能傳感器等物聯(lián)網(wǎng)解決方案 北京英諾艾智： 容錯(cuò)服務(wù)器、邊緣計(jì)算解決方案
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