來源:網絡 2012-8-4 關鍵詞:自動化 PSD 微位移傳感器 建?! ≌簽榱苏_反映基于光電位置敏感器(PSD)的微位移傳感器的特性,首先介紹了一維光電位置敏感器的工作原理并分析了利用PSD結合光學三角測量法將位移信號轉換成電壓信號的工作原理,得出基于PSD的微位移傳感器被測試件位移量與相關測量電路輸出電壓(S,V)關系特征,然后基于最小二乘估計算法基本原理,提出了運用MAT