日本KOFLOC流量計(jì)KOFLOC自1949年作為小島制作所創(chuàng)業(yè)以來，約60年間，專門致力于研究開發(fā)流體(氣體、液體）的 微少流量計(jì)測、控制技術(shù)。其間，公司的技術(shù)由模擬向數(shù)碼發(fā)展，機(jī)械走向電動(dòng)持續(xù)發(fā)展。 KOFLOC主要生產(chǎn)浮子流量計(jì)、流體控制閥、電子式流量計(jì)、各種流體控制裝置、氮?dú)?#12539;氧氣・臭氧等氣體發(fā)生裝置，燃料電池裝置、除臭裝置、水處理裝置、醫(yī)療器械等。c質(zhì)量流量計(jì)/控制器MFC/MFM等有精度，重復(fù)性，反應(yīng)速度，甚至價(jià)格也有要求。它適合半導(dǎo)體，光纜，分析儀器，燃料電池，液晶屏，有機(jī)EL,生物工程，食品，環(huán)境測試，燃燒氣體控制，工程設(shè)備，試驗(yàn)設(shè)備等各個(gè)環(huán)節(jié)，各個(gè)制造過程。他所用的傳感器是熱式流量傳感器，熱式質(zhì)量流量計(jì)（以下簡稱TME）是利用傳熱原理，即流動(dòng)中的流體與熱源（流體中加熱的物體或測量管外加熱體）之間熱量交換關(guān)系來測量流量的儀表。標(biāo)準(zhǔn) 質(zhì)量流量控制器型號3660系列 型號3660系列質(zhì)量流量控制器設(shè)計(jì)精密，成本較低。廣泛用于不同的領(lǐng)域，從實(shí)驗(yàn)室和研究開發(fā)項(xiàng)目到各種分析儀器、真空裝置的標(biāo)準(zhǔn)采用機(jī)種，發(fā)揮了很好的實(shí)際效果。各種衍生的型號和附屬品可選。 特點(diǎn)□通過采用改良型恒定電流溫度差檢測方式流量傳感器，實(shí)現(xiàn)快速回應(yīng)?！跬ㄓ玫某ｉ]型閥門確保了安全□使用電磁執(zhí)行器保證了高效的可靠性□低差壓類型控制適用于燃燒的氣體（LP可選）技術(shù)指標(biāo)F.S.量程(N2換算) 10SCCM-20SLM(30SLM-100SLM)閥門種類 常閉電磁閥控制范圍應(yīng)答性精度重復(fù)性 2%-100%F.S.（5%-100%F.S.） 設(shè)定±2%F.S.至2秒以內(nèi)（標(biāo)準(zhǔn)） ±1.5%F.S.以內(nèi)（±2%F.S.以內(nèi)） ±0.5%F.S.以內(nèi)壓力 耐壓 980kPa 操作差壓 F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa；5
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