我國成功研發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的“零損傷”兆聲波半導(dǎo)體清洗設(shè)備 　　新華網(wǎng)上海３月１８日電（記者季明）正在上海舉行的中國半導(dǎo)體國際展上，盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司展出了一臺(tái)十二英寸單片兆聲波清洗設(shè)備，這也是國內(nèi)首臺(tái)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的“零損傷”兆聲波半導(dǎo)體清洗設(shè)備。 　　當(dāng)今半導(dǎo)體清洗技術(shù)中的最大難題，是對(duì)機(jī)械損傷和不良率的控制。隨著半導(dǎo)體芯片體積的不斷縮小，影響硅片良率的粒子也越來越小，顆粒越小則越難清洗；同時(shí)，６５納米以下芯片的門電極與電容結(jié)構(gòu)越來越脆弱，在清洗中避免損傷芯片微結(jié)構(gòu)的難度也在不斷加大。 　　作為一種新興技術(shù)，近年來兆聲波清洗技術(shù)在半導(dǎo)體清洗設(shè)備中的應(yīng)用越來越廣泛。盛美半導(dǎo)體首席執(zhí)行官王暉博士說，兆聲波能量之所以可以去除顆粒，是因?yàn)檎茁暡〞?huì)產(chǎn)生氣穴，這些氣穴能在“極表面”產(chǎn)生高速流體，從而推動(dòng)微顆粒離開硅片表面。但這項(xiàng)技術(shù)的關(guān)鍵點(diǎn)在于，如何控制兆聲波在硅片表面上的能量，使之既能有足夠的能量產(chǎn)生氣穴，又不會(huì)產(chǎn)生過多能量而破壞硅片上的微結(jié)構(gòu)。 　　據(jù)介紹，目前全球市場上的單片兆聲波清洗設(shè)備，一般只能控制兆聲波能量非均勻度在１０％到２０％。而由盛美半導(dǎo)體自主研發(fā)的ＳＡＰＳ兆聲波技術(shù)，可以精確控制兆聲波的能量，將均勻率控制在２％以內(nèi)。因而盛美半導(dǎo)體設(shè)備公司的兆聲波清洗設(shè)備使用超純凈水，在不損傷微結(jié)構(gòu)的條件下，顆粒去除效率可達(dá)到９８.３％；如果使用特定化學(xué)清洗液，顆粒去除效率更可高達(dá)９９．２％。 　　　（自動(dòng)化網(wǎng)莫銘編輯）