【ZiDongHua 之方案應(yīng)用場(chǎng)收錄關(guān)鍵詞： 格創(chuàng)東智 MES 半導(dǎo)體】
　　
　　智能化偵測(cè)三件套，格創(chuàng)東智助力半導(dǎo)體設(shè)備智能化管理
　　
　　沒(méi)有什么比客戶的痛點(diǎn)，更讓我們使勁投入去攻克。為了不斷完善產(chǎn)品/方案，積累行業(yè)Know-how，我們一直非常重視與客戶之間的溝通。
　　
　　近期，我們回訪了一位半導(dǎo)體工廠的設(shè)備主管。他反饋，F(xiàn)DC系統(tǒng)上線后，確實(shí)通過(guò)優(yōu)化建模提升了設(shè)備異常偵測(cè)的準(zhǔn)確性，實(shí)現(xiàn)了Cost down。但隨著投入量產(chǎn)后，該設(shè)備主管不但要關(guān)注設(shè)備機(jī)況，還要解決產(chǎn)能問(wèn)題。在這個(gè)過(guò)程中，他遇到了很多無(wú)法被偵測(cè)到的異常情況：
　　
　　設(shè)備或系統(tǒng)無(wú)報(bào)警產(chǎn)生，但生產(chǎn)已經(jīng)中斷。比如：機(jī)臺(tái)突然斷電，無(wú)法鳴笛報(bào)警通知各個(gè)IT系統(tǒng)，長(zhǎng)時(shí)間無(wú)人發(fā)現(xiàn)導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢。
　　
　　MES已派工，操作員忘記了將產(chǎn)品放到機(jī)臺(tái)上按Load，導(dǎo)致生產(chǎn)中斷、OEE loss。
　　
　　Recipe/EC變更了，無(wú)法第一時(shí)間察覺異常。比如：工程師Recipe修改不合理，導(dǎo)致產(chǎn)品在機(jī)臺(tái)某位置比以往停留時(shí)間長(zhǎng)、被氧化報(bào)廢。
　　
　　設(shè)備Uptime高，但是產(chǎn)出少，找不到分析途徑。
　　
　　這位設(shè)備主管的“痛苦”，我們感同身受。在已有FDC系統(tǒng)的情況下，如何對(duì)生產(chǎn)流程進(jìn)行無(wú)死角的監(jiān)控？
　　
　　我們引入了從時(shí)間角度進(jìn)行異常偵測(cè)的系統(tǒng)——THD設(shè)備中斷偵測(cè)系統(tǒng)（以下簡(jiǎn)稱THD系統(tǒng)）。通過(guò)設(shè)置偵測(cè)時(shí)間、建立智能控制、自定義異常報(bào)警等方式，幫助用戶在許多復(fù)雜問(wèn)題上打破了僵局，并成功識(shí)別到了設(shè)備自身難以發(fā)現(xiàn)的問(wèn)題，從而提升了設(shè)備效率（OEE）。
　　
　　想知道問(wèn)題具體是如何迎刃而解的，或者您遇到了設(shè)備管理相關(guān)的其他難題，請(qǐng)掃描二維碼告訴我們。
　　
 
　　
　　智能化偵測(cè)三件套，助力設(shè)備智能化管理
　　
　　除了THD設(shè)備中斷偵測(cè)系統(tǒng)外，格創(chuàng)東智設(shè)備智能化監(jiān)控體系還包括：AMS設(shè)備報(bào)警管理系統(tǒng)、FDC設(shè)備故障檢測(cè)系統(tǒng)。它們從設(shè)備功能的實(shí)現(xiàn)、性能的展示、流程的穩(wěn)定性三個(gè)角度進(jìn)行設(shè)備監(jiān)控，實(shí)現(xiàn)全方面的異常偵測(cè)報(bào)警。
　　
　　1、AMS設(shè)備報(bào)警管理系統(tǒng)：收集主設(shè)備及附屬設(shè)備自身判定的異常報(bào)警，識(shí)別關(guān)鍵信息，通過(guò)一般事件任務(wù)和升級(jí)事件任務(wù)分別作出處理，實(shí)現(xiàn)異常處理的及時(shí)化和精準(zhǔn)化。
　　
　　2、FDC設(shè)備故障檢測(cè)系統(tǒng)：通過(guò)多種分類規(guī)則和統(tǒng)計(jì)方式分析設(shè)備的傳感數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)自定義的設(shè)備預(yù)警和工藝參數(shù)監(jiān)測(cè)。
　　
　　3、THD設(shè)備中斷偵測(cè)系統(tǒng)：通過(guò)時(shí)間維度判定設(shè)備的運(yùn)行工序是否異常（包括人為異常、生產(chǎn)流程異常、工藝節(jié)拍異常等）。
　　
　　
　　
　　在這里，值得一提的是格創(chuàng)東智的FDC設(shè)備故障檢測(cè)系統(tǒng)。格創(chuàng)東智率先將W*功能引入FDC系統(tǒng)，打破了設(shè)備的模塊壁壘、規(guī)則壁壘、OCAP壁壘，使得FDC系統(tǒng)更加靈活和便捷。自動(dòng)模型導(dǎo)入、EQP Match、EEA等功能廣受用戶好評(píng)，讓FDC系統(tǒng)成為格創(chuàng)東智設(shè)備智能監(jiān)控體系中的最重要的一環(huán)。它可以為用戶解決以下難題：
　　
　　設(shè)備和工藝異常缺少偵測(cè)手段；
　　
　　Tool Match力不從心；
　　
　　Cost down項(xiàng)目上缺少數(shù)據(jù)支持（如通過(guò)FDC數(shù)據(jù)延長(zhǎng)Parts Lifetime）；
　　
　　每個(gè)Pump還在用手柄查看電壓/功率/溫度等參數(shù)，沒(méi)有集中化的監(jiān)控管理；
　　
　　原FDC系統(tǒng)運(yùn)行緩慢，希望得到更多靈活性的功能，精確報(bào)警和減少工作量。
　　
　　格創(chuàng)東智設(shè)備智能化管理應(yīng)用實(shí)例圖片
　　
　　為滿足不同情形的設(shè)備異常偵測(cè)，格創(chuàng)東智從設(shè)備的硬件特性、工藝路徑、生產(chǎn)階段等角度出發(fā)，結(jié)合業(yè)務(wù)場(chǎng)景和經(jīng)驗(yàn)，運(yùn)用智能化系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)監(jiān)測(cè)機(jī)制的全面化。讓我們一起來(lái)看一個(gè)客戶現(xiàn)場(chǎng)的成功實(shí)踐。
　　
　　某前道Fab廠，整廠設(shè)備50+Type，含LITHO，ETCH，CMP，IMP，TF，F(xiàn)UR 等設(shè)備類型。設(shè)備總量1000+，3000+chamber，每臺(tái)設(shè)備工藝參數(shù)100+，工藝過(guò)程監(jiān)控模型量100萬(wàn)+，工藝參數(shù)頻率1HZ~10HZ。
　　
　　客戶痛點(diǎn)：
　　
　　1、建廠初期導(dǎo)入的是外資FDC系統(tǒng)，定制化費(fèi)用高昂，急需新的FDC系統(tǒng)針對(duì)其業(yè)務(wù)提供客制化功能。
　　
　　2、用戶FDC系統(tǒng)運(yùn)用經(jīng)驗(yàn)不足，供應(yīng)商配合度低（僅提供系統(tǒng)部署，不提供應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)），導(dǎo)致FDC系統(tǒng)效益低。
　　
　　方案及價(jià)值：
　　
　　1、原外資FDC系統(tǒng)建模數(shù)據(jù)自動(dòng)遷移到格創(chuàng)東智FDC系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)無(wú)感切換。
　　
　　2、提供客制化報(bào)表、OA簽核系統(tǒng)、閉環(huán)管理OCAP，幫助客戶優(yōu)化FDC管理。
　　
　　3、提供FDC業(yè)務(wù)端實(shí)施經(jīng)驗(yàn)和建模方案，每月一次系統(tǒng)效益提升交流和行業(yè)案例分享，大幅提升FDC效益。比如Logic引擎幫助客戶解決了很多復(fù)雜建模問(wèn)題，減少某機(jī)型誤報(bào)警20%；為用戶提供了大量易用性功能，建模效率提升50%。
　　
　　4、提供Pump等附屬系統(tǒng)的FDC系統(tǒng)偵測(cè)，實(shí)現(xiàn)了附屬設(shè)備異常的提前預(yù)警，多次避免Pump異常導(dǎo)致的主設(shè)備的緊急宕機(jī)和污染。