ABB機(jī)器人助力半導(dǎo)體精密“智”造
【ZiDongHua之方案應(yīng)用場收錄關(guān)鍵詞:ABB 機(jī)器人 半導(dǎo)體 拆包自動化 控制器】
晶圓守護(hù)者!ABB機(jī)器人助力半導(dǎo)體精密“智”造
ABB機(jī)器人
半導(dǎo)體晶圓運(yùn)輸盒拆包自動化
現(xiàn)代電子設(shè)備中至關(guān)重要的半導(dǎo)體,其制造過程精密復(fù)雜。如何減少半導(dǎo)體必要材料晶圓在機(jī)器或工廠間轉(zhuǎn)移時受到的污染和損耗成為一大難題。機(jī)器人技術(shù)的應(yīng)用能夠幫助減少晶圓碎片化風(fēng)險,提高運(yùn)輸效率,一起來一睹為快!
由于其材料特性,硅晶圓非常脆弱易碎。晶圓轉(zhuǎn)移的拆箱和包裝過程通常需要人工24小時不間斷地工作,才能趕上后續(xù)的生產(chǎn)步驟。為了滿足對半導(dǎo)體晶片日益增長的需求,穩(wěn)定質(zhì)量,降低碎片化風(fēng)險,提高生產(chǎn)線運(yùn)輸效率,半導(dǎo)體制造商易發(fā)精機(jī)選擇與ABB機(jī)器人合作,利用自動化技術(shù)最大限度地提高產(chǎn)能。
解決方案
1
首先,ABBIRB4600機(jī)器人將晶圓運(yùn)輸盒移動至氮?dú)馓畛湔?,然后由配備無塵超聲波切割機(jī)的IRB1200以最佳切割路徑割開包裝晶圓運(yùn)輸盒的鋁袋。
2
隨后,IRB4600將晶圓運(yùn)輸盒移動到另一個站點(diǎn),移除鋁袋,并將廢棄的包裝丟棄。
3
最后,另一臺IRB1200為IRB4600放置RFID,卸載晶圓運(yùn)輸盒。
高潔凈度
使用了符合潔凈室標(biāo)準(zhǔn)的IRB1200和IRB4600,配備了超聲波切割器,可避免產(chǎn)生更多的灰塵顆粒。
穩(wěn)定可靠
ABB機(jī)器人的高精度和可靠性使工藝過程中的振動值小于0.35G,減少了硅晶圓轉(zhuǎn)移過程中的的污染和損耗。
高效輸送
實現(xiàn)了每小時30次晶圓運(yùn)輸盒包裝/拆包過程的目標(biāo),滿足增長的生產(chǎn)需求。
易發(fā)精機(jī)第一業(yè)務(wù)部門的團(tuán)隊負(fù)責(zé)人RoyalLuo表示,
在引入自動化技術(shù)時,技術(shù)產(chǎn)品的多樣性是一個重大挑戰(zhàn),但ABB機(jī)器人總能滿足我們的需求。在將設(shè)備銷售到海外后,我們?nèi)匀豢梢垣@得ABB的技術(shù)支持,讓我們能安心與ABB機(jī)器人合作。
電子產(chǎn)品制造極其復(fù)雜。電子元件密度高、內(nèi)部結(jié)構(gòu)復(fù)雜、部件微小精密的特點(diǎn),要求裝配過程具有極高的精度。而保證高精確性和重復(fù)定位精度的同時,整個解決方案還需要快速、高效、緊湊和可靠。
在電子制造中,如何讓所想即為所得?如何讓電子制造更加簡單、智能、高效?ABBRobotStudio讓這一切成為可能!
RobotStudio有著一流的虛擬控制器技術(shù),可以使用屏幕上的模擬(或數(shù)字孿生)來精確模擬機(jī)器人在真實環(huán)境中的運(yùn)動。這讓制造商能在對實際生產(chǎn)線做出任何更改之前,先在虛擬環(huán)境中構(gòu)建、測試和改進(jìn)機(jī)器人部署,加快了實際調(diào)試速度,最大限度地減少了生產(chǎn)中斷,并且可以顯著提高生產(chǎn)效率。
關(guān)于易發(fā)精機(jī)
易發(fā)精機(jī)(EFC)是一家領(lǐng)先的高科技工業(yè)加工設(shè)備系統(tǒng)集成商。其全自動精密生產(chǎn)的設(shè)備主要用于光電子行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)和動力電池行業(yè)。公司以“以精湛工藝創(chuàng)造無限價值”為理念,通過對完美產(chǎn)品研發(fā)的不懈追求以及快速的服務(wù)、支持和響應(yīng),為客戶提供最佳效率。
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