【國內(nèi)首個“IC設(shè)備關(guān)鍵零部件集成制造技術(shù)與加工平臺”順利通過驗收】長期以來我國IC設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)普遍面臨關(guān)鍵零部件采購成本高等問題。沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)園聯(lián)合沈陽自動化所等單位，圍繞IC設(shè)備金屬類零部件高效精密加工等8個課題展開技術(shù)攻關(guān)與平臺建設(shè)，突破了一系列技術(shù)難題。