引領中國影像測量儀精度邁向國際頂尖水平

2024年6月18日，在第十六屆中國國際機床工具展覽會(CIMES)上，蘇州天準科技股份有限公司（以下簡稱"天準科技"）隆重發(fā)布了全新VMZ超高精度影像儀。該新品實現了測量精度高達0.8μm的突破，最大倍率高達4000倍。出色的測量精度和穩(wěn)定性，使其能夠輕松應對各種復雜測量任務，適用于半導體、微組裝、光通信等高精度測量場景。

自創(chuàng)立以來，天準一貫堅持以自研創(chuàng)新為基石，通過極強的服務意識助力客戶實現質量的自主管理，秉持民族品牌自強的理念，致力于以領先技術推動工業(yè)數字化智能化發(fā)展。影像測量儀作為天準技創(chuàng)立之初的第一款產品，自2007年第一代自動影像儀問世，到去年第10000臺的成功下線，數字的變化見證了天準測量系統(tǒng)業(yè)務的快速發(fā)展和不斷壯大。

天準科技計量事業(yè)部技術副總徐昕為發(fā)布會致辭。他首先介紹了天準的基本情況與發(fā)展里程碑。他表示，天準致力打造卓越視覺裝備平臺企業(yè)，深耕工業(yè)計量、消費電子、半導體、PCB、光伏、新能源汽車、智能駕駛七大領域。其中，天準計量產品包括影像測量儀、閃測儀、三坐標測量機。

徐副總深入闡述了影像測量儀的發(fā)展歷程。他強調，當前國產影像測量儀已在中低端市場占據主導地位，而高端市場仍以進口品牌為主。天準推出的VMZ超高精度影像測量儀在精度和放大倍率方面表現出色，有望實現全面的國產替代。

徐副總進一步表示，天準在影像測量儀產品上堅持創(chuàng)新，在產品功能、精度、穩(wěn)定性、交付、客戶定制需求等方面長期保持領先。隨著工業(yè)4.0戰(zhàn)略的實施和新質生產力的發(fā)展，數字化和智能制造已經成為高端制造業(yè)的核心驅動力。在這一背景下，制造業(yè)對生產效率、成本控制以及高端進口設備的國產替代需求愈發(fā)迫切，同時，也推動影像測量儀等精密測量設備向高效率、高精度、復合式方向不斷發(fā)展。

隨后，天準計量事業(yè)部商務總監(jiān)宋許文詳細闡述了VMZ影像測量儀的特點及應用場景。他強調，VMZ超高精度影像測量儀是天準影像測量儀中的佼佼者，測量精度一馬當先，可以搭配高倍顯微鏡頭，將微觀世界無限放大，清晰揭示復雜而精妙的微觀構造。該新品在半導體行業(yè)的應用主要集中在封裝工藝。VMZ超高精度影像測量儀在測量精度以及穩(wěn)定性上實現了跨越式提升，其核心部分搭載了納米級零膨脹系數光柵尺、永磁零磨損的直線電機驅動技術，多鏡頭多倍率融合標定算法，既確保了測量精度，還保證了儀器在長期運行下的穩(wěn)定性與可靠性。

此外，VMZ超高精度影像儀擁有靈活多變的光學系統(tǒng)配置，使得VMZ超高精度影像儀能夠充分滿足復雜多樣的測量場景。同時，該影像測量儀還具備AI特色功能，可精準測量復雜邊界，自動匹配樣圖等，極大地提高了測量效率和準確性。

發(fā)布會現場，儀器信息網特別采訪了天準公司的典型客戶——瑞薩半導體（北京）有限公司的資深工程師司建杰先生（儀器信息網原文）。司建杰分享了瑞薩半導體自2017年起與天準的合作經歷。目前，瑞薩半導體的生產線上配置了多臺天準影像測量儀，這些設備在芯片引腳、平面度等關鍵尺寸的精準測量上發(fā)揮著重要作用。司建杰對天準影像測量儀給予了高度評價，他特別指出其測量速度快、精度高、穩(wěn)定性強的特點，在半導體行業(yè)中顯得尤為重要。此外，他還對天準公司提供的定制化解決方案和優(yōu)質售后服務表示贊賞。

在談到精密測量儀器的發(fā)展時，司建杰表達了自己的獨到見解。他認為，隨著半導體行業(yè)的不斷發(fā)展，對測量儀器的要求也越來越高。他期待天準能夠持續(xù)加大研發(fā)和創(chuàng)新力度，推出更多具有多元化功能的測量儀器。同時，他也期望天準能夠在未來超越進口產品，實現國產精密測量儀器的全面替代。

展會期間，中國計量科學研究院長度精密測量研究室原主任張恒也蒞臨了天準展臺，與技術人員進行了深入交流與探討。VMZ高精度影像測量儀吸引了張恒主任的特別關注，在詳細了解這款新品的核心參數和應用場景后，他對該影像測量儀給予了高度肯定和認可。同時，他期望天準能在計量精密儀器制造領域持續(xù)發(fā)揮創(chuàng)新精神，進一步推動精密儀器制造業(yè)向數字化智能化發(fā)展。

本次展會，天準帶來了多款適用不同行業(yè)精度需求的測量解決方案，包括CMZ計量型/CMU高精度/CME經濟型的CM系列三坐標測量機，以及VMG龍門/VMQ閃測的VM系列影像測量儀。隨著制造業(yè)的轉型升級，精密測量在航空航天、汽車、電子、半導體等領域的應用需求不斷增長。未來，天準在精密測量領域將繼續(xù)保持其在技術創(chuàng)新、市場應用、產品性能、產業(yè)鏈整合和國際化戰(zhàn)略等方面的優(yōu)勢，堅持以科技創(chuàng)新推動產業(yè)創(chuàng)新，持續(xù)為工業(yè)客戶賦能，引領中國影像測量儀精度邁向國際頂尖水平，助力制造業(yè)向更高端化、更智能化的方向發(fā)展。