【ZiDongHua 之新品發(fā)布臺(tái)：ERS 、Wave3000 、晶圓翹曲測(cè)量設(shè)備 、溫度管理解決方案】

ERS Wave3000問(wèn)世----用于晶圓先進(jìn)封裝的前沿翹曲測(cè)量設(shè)備

半導(dǎo)體制造業(yè)提供溫度管理解決方案的領(lǐng)導(dǎo)者—— ERS electronic開(kāi)發(fā)了一種史無(wú)前例的晶圓翹曲測(cè)量和分析設(shè)備。由于其先進(jìn)的光學(xué)掃描測(cè)量方法，使得Wave3000在可以準(zhǔn)確地測(cè)量晶圓在特定處理位置的變形，并提供全面精準(zhǔn)的翹曲分析，這對(duì)于確保先進(jìn)封裝設(shè)備的質(zhì)量至關(guān)重要。

Wave3000: “ERS presents its latest innovation, Wave3000, a state-of-the-art warpage metrology tool”

"隨著先進(jìn)封裝技術(shù)的廣泛應(yīng)用，我們看到翹曲正逐漸成為半導(dǎo)體制造業(yè)日趨復(fù)雜的難題，"ERS electronic CEO Laurent Giai-Miniet說(shuō)。"翹曲可以是由多種因素造成的，其中包括材料性質(zhì)差異、溫度波動(dòng)以及處理和加工過(guò)程中的壓力。翹曲的晶圓不僅會(huì)引起工藝問(wèn)題，還會(huì)導(dǎo)致生產(chǎn)出殘次品，降低良率。"

為了應(yīng)對(duì)這個(gè)問(wèn)題， ERS開(kāi)發(fā)了Wave3000，一臺(tái)可以在一分鐘以內(nèi)精準(zhǔn)測(cè)量200到300毫米晶圓翹曲并加以分析的機(jī)器。機(jī)器內(nèi)置的掃描儀允許系統(tǒng)測(cè)量不同的晶圓表面和由不同材料制成的晶圓，比如硅晶圓，化合物晶圓等。其獨(dú)特的測(cè)量方式提供了較大的靈活性，用戶可在不同平臺(tái)上測(cè)量，如在頂Pin或是末端執(zhí)行器上。

測(cè)量之后， Wave3000 生成的交互式晶圓 3D視圖，用來(lái)更好的了解翹曲情況。用戶可以旋轉(zhuǎn)、放大、隨意操控該3D圖像，從任何角度觀察翹曲并評(píng)估其對(duì)晶圓制造過(guò)程的影響。

"該設(shè)備具有高度的靈活性和精確性，可以測(cè)量翹曲、弓形以及晶圓厚度，這些都是避免降低良率、減少破損的關(guān)鍵特征，" ERS electronic扇出設(shè)備業(yè)務(wù)部經(jīng)理Debbie-Claire Sanchez說(shuō)。"Wave3000搭載的軟件可以生成精確的晶圓表面3D圖，用戶可以據(jù)此分析翹曲對(duì)晶圓性能的影響，并就如何優(yōu)化工藝步驟以獲得更好的結(jié)果做出明智的決定。"

這項(xiàng)創(chuàng)新擴(kuò)大了公司用于扇出式晶圓級(jí)封裝的自動(dòng)、半自動(dòng)和手動(dòng)熱拆鍵合和翹曲矯正設(shè)備的產(chǎn)品組合。 Wave3000 定位在致力于先進(jìn)封裝技術(shù)方面龐大且不斷增長(zhǎng)的市場(chǎng)的半導(dǎo)體制造商、 OSAT和研究機(jī)構(gòu)。

目前 Wave3000 已接受預(yù)定。