來源：網(wǎng)絡(luò) 2012-9-23 關(guān)鍵詞：工業(yè)自動化 傳感器系統(tǒng) 控制系統(tǒng) 傳感器　　近日，重慶川儀自動化股份有限公司承擔在“863”計劃課題“過程控制硅壓力傳感器及系統(tǒng)”順利通過科技部驗收。　　項目組攻克了過程控制硅壓力傳感器及系統(tǒng)的技術(shù)設(shè)計、關(guān)鍵部件開發(fā)、制造工藝、裝備等關(guān)鍵技術(shù)問題，實現(xiàn)了覆蓋全量程范圍的過程控制硅壓力傳感器芯片的設(shè)計、模型建立和芯片流片的制造;提出了以消壓