來源：網(wǎng)絡(luò) 2012-9-14 關(guān)鍵詞：工業(yè)自動化 壓力傳感器 溫度控制系統(tǒng)　　O 引言　　在微電子器件領(lǐng)域，針對SiC器件的研究較多，已經(jīng)取得了較大進展，而在MEMS領(lǐng)域針對SiC器件的研究仍有許多問題亟待解決。在國內(nèi)，SiC MEMS的研究非常少，因而進行SiC高溫MEMS壓力傳感器的研究具有開創(chuàng)意義。碳化硅(SiC)具有優(yōu)良的耐高溫，抗腐蝕，抗輻射性能，因而使用SiC來制