來(lái)源：網(wǎng)絡(luò) 2012-8-18 關(guān)鍵詞：工業(yè)自動(dòng)化 傳感技術(shù) 壓力傳感器　　在壓力傳感器的微細(xì)加工技術(shù)中要求在樣品背面的掩膜上光刻出壓力腔窗口的圖形而且與正面圖形嚴(yán)格對(duì)準(zhǔn)。待別是在設(shè)計(jì)時(shí)必須將力敏電阻安排在膜內(nèi);有時(shí)離開(kāi)膜邊的距離僅為30P”。正反圖形錯(cuò)開(kāi)時(shí)，力敏電阻條對(duì)壓力靈敏度響應(yīng)便不對(duì)稱(chēng)，甚至有時(shí)有可能移到膜外，對(duì)壓力便無(wú)響應(yīng)。這種錯(cuò)位既可以有平移錯(cuò)動(dòng)，也可以有角度錯(cuò)開(kāi)。一般要求