來源：網(wǎng)絡(luò) 2012-8-18 關(guān)鍵詞：工業(yè)自動化 移動設(shè)備 MEMS 傳感器　　整合三軸加速度計(jì)與三軸陀螺儀的六軸MEMS器件如雨后春筍般，正快速普及移動設(shè)備市場。諸如意法半導(dǎo)體(ST)、應(yīng)美盛(InvenSense)與博世(BoschSensortec)等公司，皆紛紛邁向多軸設(shè)計(jì)趨勢，競相推出六軸MEMS組合傳感器，期待以高集成度、高效能、低成本、小體積等優(yōu)勢擴(kuò)大MEMS市場商機(jī)。