MEMS傳感器市場分析
MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微機電系統(tǒng)的縮寫，MEMS技術(shù)建立在微米/納米基礎(chǔ)上，是對微米/納米材料進行設(shè)計、加工、制造、測量和控制的技術(shù)，完整的MEMS是由微傳感器、微執(zhí)行器、信號處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng)。MEMS傳感器能夠?qū)⑿畔⒌墨@取、處理和執(zhí)行集成在一起，組成具有多功能的微型系統(tǒng)，從而大幅度地提高系統(tǒng)的自動化、智能化和可靠性水平。它還能夠使得制造商能將一件產(chǎn)品的所有功能集成到單個芯片上，從而降低成本，適用于大規(guī)模生產(chǎn)。
MEMS技術(shù)最早由Richard Pfeynman（1965年獲得諾貝爾物理獎）在1959年提出設(shè)想。1962年硅微型壓力傳感器問世。1979年Roylance和Angell開始壓阻式微加速計的研制。1991年Cole開始電容式微加速度計的研制。
慣性傳感器包括加速度計（或加速度傳感計）和角速度傳感器（陀螺）以及它們的單、雙、三軸組合IMU（慣性測量單元），AHRS（包括磁傳感器的姿態(tài)參考系統(tǒng)）。
MEMS加速度計是利用傳感質(zhì)量的慣性力測量的傳感器，一般由標準質(zhì)量塊（傳感元件）和檢測電路組成。根據(jù)傳感原理不同，主要有壓阻式、電容式、壓電式、隧道電流式、諧振式、熱電耦合式和電磁式等。
1998年，美國CSDL設(shè)計研制了最早的MEMS陀螺。同年，Drapor實驗室研制了另一種形式的MEMS陀螺。
MEMS陀螺是利用震動質(zhì)量塊被基座（殼體）帶動旋轉(zhuǎn)時的哥氏效應(yīng)來傳感角速度的原理制成，主要形式有框架驅(qū)動式（內(nèi)、外框架兩種）梳狀驅(qū)動式、電磁驅(qū)動式等。
IMU由于是MEMS技術(shù)組合的微型慣性測量單元，所以很多地方稱為MIMU。主要由三個MEMS加速度傳感器及三個陀螺及解算電路組成。
AHRS則為包括三個磁傳感器的IMU，并且依據(jù)四元素法進行了解算，直接可輸出一個運動體的俯仰角、橫滾角和航向角。
低精度MEMS慣性傳感器作為消費電子類產(chǎn)品主要用在手機、游戲機、音樂播放器、無線鼠標、數(shù)碼相機、PD、硬盤保護器、智能玩具、計步器、防盜系統(tǒng)、GPS導航等便攜式。由于具有加速度測量、傾斜測量、振動測量甚至轉(zhuǎn)動測量等基本測量功能，有待挖掘的消費電子應(yīng)用會不斷出現(xiàn)。
中級MEMS慣性傳感器作為工業(yè)級及汽車級產(chǎn)品，則主要用于汽車電子穩(wěn)定系統(tǒng)（ESP或ESC）GPS輔助導航系統(tǒng)，汽車安全氣囊、車輛姿態(tài)測量、精密農(nóng)業(yè)、工業(yè)自動化、大型醫(yī)療設(shè)備、機器人、儀器儀表、工程機械等。
高精度的MEMS慣性傳感器作為軍用級和宇航級產(chǎn)品，主要要求高精度、全溫區(qū)、抗沖擊等指數(shù)。主要用于通訊衛(wèi)星無線、導彈導引頭、光學瞄準系統(tǒng)等穩(wěn)定性應(yīng)用；飛機/導彈飛行控制、姿態(tài)控制、偏航阻尼等控制應(yīng)用、以及中程導彈制導、慣性GPS導航等制導應(yīng)用、遠程飛行器船舶儀器、戰(zhàn)場機器人等。
用作消費電子類的MEMS慣性傳感器，主要要求是單價低、尺寸小、溫度范圍窄、因而精度要求低，甚至是功能性產(chǎn)品。加速度傳感器重量輕、功耗小、一般測量范圍1～10g～50g，分辨率2mg～10mg，陀螺一般量程在±300°/s，零偏在500°/h～1000°/h，因此有些公司的產(chǎn)品不給出零偏指標或給出0.1°/s～0.5°/s。
目前可以生產(chǎn)MEMS加速度傳感器的公司比較多，大多數(shù)為半導體、如美國的ADI、Invensense、ST、Freescale、Sensor Dynamics、MSI(ICSensor)
MEMSIC（生產(chǎn)地在中國無錫）歐洲的VTI、Infine，生產(chǎn)MEMS陀螺的公司美國的ADI 、Knoix、ST，歐洲的Infine、Methes，日本的Murata、National、沖電氣、富士通。目前，中國上海深迪半導體有限公司發(fā)布了消費類的MEMS陀螺，
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