變面積型電容傳感器 2011-06-18 15:41:42來源:互聯(lián)網
變面積型電容傳感器中，平板形結構對極距變化特別敏感，測量精度受到影響。而圓柱形結構受極板徑向變化的影響很小，成為實際中最常采用的結構，其中線位移單組式的電容量C在忽略邊緣效應時為

l—外圓筒與內圓柱覆蓋部分的長度；
r2、r1 —圓筒內半徑和內圓柱外半徑。
當兩圓筒相對移動Δl時，電容變化量ΔC為