我院多項(xiàng)成果亮相首屆計(jì)量?jī)x器裝備展,獲央視總臺(tái)關(guān)注報(bào)道
【ZiDongHua之會(huì)展賽培壇收錄關(guān)鍵詞:精密光學(xué) 同濟(jì)大學(xué) 顯微鏡 微納檢測(cè)設(shè)備】
我院多項(xiàng)成果亮相首屆計(jì)量?jī)x器裝備展,獲央視總臺(tái)關(guān)注報(bào)道
近日,由中國(guó)計(jì)量協(xié)會(huì)主辦,上海市計(jì)量協(xié)會(huì)、江蘇省儀器儀表學(xué)會(huì)聯(lián)合主辦的首屆計(jì)量?jī)x器裝備展(2024)(以下簡(jiǎn)稱“計(jì)量展”)在蘇州國(guó)際博覽中心順利舉行。本屆展會(huì)以“計(jì)量支撐新質(zhì)生產(chǎn)力”為主題,展出總面積達(dá)到1萬(wàn)平方米,吸引了近300家國(guó)家產(chǎn)業(yè)計(jì)量測(cè)試中心、計(jì)量技術(shù)機(jī)構(gòu)及國(guó)內(nèi)外高端儀器儀表企業(yè)參展,展出了1500余類計(jì)量新產(chǎn)品、新裝備與新技術(shù)。同濟(jì)大學(xué)物理科學(xué)與工程學(xué)院的多項(xiàng)創(chuàng)新成果也在展會(huì)上亮相,吸引了廣泛關(guān)注。
在此次計(jì)量展中,我院集中展示了直接溯源型納米長(zhǎng)度和角度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)(已獲批5項(xiàng)國(guó)家一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì))、晶圓級(jí)標(biāo)準(zhǔn)片、直接溯源型光柵干涉儀及計(jì)量型原子力顯微鏡等多項(xiàng)研究成果。學(xué)院自主研制的直接溯源長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)準(zhǔn)確度達(dá)到0.001 nm量級(jí)(相當(dāng)于頭發(fā)絲的六千萬(wàn)分之一),正交角度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)準(zhǔn)確性達(dá)到0.001°量級(jí)(相當(dāng)于把蛋糕按扇形均分成三十六萬(wàn)份),這其中就包括了我國(guó)首個(gè)納米角度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。在直接溯源型光柵的基礎(chǔ)上,我院研究團(tuán)隊(duì)還發(fā)明了具有直接溯源特性及良好魯棒性的光柵干涉儀,能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級(jí)精度位移測(cè)量。
據(jù)悉,今年5月,同濟(jì)大學(xué)被國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局遴選為首批原子顯微鏡與電子顯微鏡等高端儀器的計(jì)量測(cè)試評(píng)價(jià)機(jī)構(gòu)。展會(huì)期間,我院的創(chuàng)新成果吸引了眾多參展嘉賓的廣泛興趣并獲得了中央電視總臺(tái)的特別報(bào)道。
近年來(lái),同濟(jì)大學(xué)物理科學(xué)與工程學(xué)院在納米計(jì)量與測(cè)試領(lǐng)域取得了顯著進(jìn)展。我院在直接溯源型標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的種類及精確度方面實(shí)現(xiàn)了突破,并且自主研發(fā)了高精度計(jì)量裝置及晶圓級(jí)標(biāo)準(zhǔn)片,有望為我國(guó)先導(dǎo)產(chǎn)業(yè)微納檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)業(yè)提供重要支撐。
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