艾邁斯歐司朗與愛思強攜手共進|全自動AsP反應(yīng)器,提供全自動“檢測盒到檢測盒”晶圓裝載以及基于原位蝕刻的清潔機制
【ZiDongHua之會展賽培壇摘要:艾邁斯歐司朗與愛思強聯(lián)合宣布,200mm晶圓AIXTRON G5+ C和G10-AsP系統(tǒng)已獲得艾邁斯歐司朗的認(rèn)證,可用于滿足Micro LED應(yīng)用需求?!?/p>
艾邁斯歐司朗與愛思強宣布,面向Micro LED應(yīng)用的200mm晶圓AIXTRON G5+ C和G10-AsP系統(tǒng)已獲艾邁斯歐司朗認(rèn)證
中國 上海,2023年2月14日——全球領(lǐng)先的光學(xué)解決方案供應(yīng)商艾邁斯歐司朗(瑞士證券交易所股票代碼:AMS)和半導(dǎo)體行業(yè)沉積設(shè)備領(lǐng)先供應(yīng)商愛思強(AIXTRON SE,法蘭克福證券交易所股票代碼:AIXA)聯(lián)合宣布,200mm晶圓AIXTRON G5+ C和G10-AsP系統(tǒng)已獲得艾邁斯歐司朗的認(rèn)證,可用于滿足Micro LED應(yīng)用需求。
愛思強的MOCVD系統(tǒng)AIX G5+ C和全新G10-AsP提供AIXTRON行星衛(wèi)星式氣浮旋轉(zhuǎn)水平技術(shù)(Planetary Technology),為下一代高分辨率Micro LED顯示屏鋪平了道路。早在2022年第一季度,艾邁斯歐司朗宣布200mm產(chǎn)能增建計劃,在馬來西亞現(xiàn)有工廠實現(xiàn)LED和Micro LED產(chǎn)能。MOCVD系統(tǒng)有望助力實現(xiàn)Micro LED的批量生產(chǎn),打造出新一代顯示應(yīng)用。
艾邁斯歐司朗執(zhí)行副總裁兼光電半導(dǎo)體業(yè)務(wù)負(fù)責(zé)人Robert Feurle表示:“愛思強和艾邁斯歐司朗保持著長期的合作關(guān)系,我們熟悉其設(shè)備的性能和質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。對于任務(wù)艱巨的項目,例如開發(fā)和生產(chǎn)適用于AsP和GaN器件的Micro LED,愛思強正是我們需要的合作伙伴。”
愛思強首席執(zhí)行官兼總裁Felix Grawert博士補充道:“G10-AsP和AIX G5+ C已成功獲得艾邁斯歐司朗的認(rèn)證,這是我們公司歷史上一個非常重要的里程碑。艾邁斯歐司朗是全球領(lǐng)先的LED制造商,完全有能力將全新的基礎(chǔ)性技術(shù)推向市場。我們正面臨著從傳統(tǒng)顯示技術(shù)向新型Micro LED顯示技術(shù)的重大轉(zhuǎn)變。如今,愛思強正在邁入一個潛力巨大的未來增長市場,而且我們還有一位理想的合作伙伴與我們攜手共進。”
Micro LED具備非常顯著的優(yōu)勢,例如更高的像素密度、更長的使用壽命、更高的亮度、更快的開關(guān)速度和更寬的色譜,進一步提升顯示技術(shù)。相對能耗低也是一項重要優(yōu)勢,使得Micro LED技術(shù)非常適合用于下一代配備較小顯示器的消費電子設(shè)備,通常這些設(shè)備為電池提供的空間非常有限。
Micro LED有著特殊的生產(chǎn)要求:在其量產(chǎn)過程中包含一個特殊的批量轉(zhuǎn)移工藝步驟,數(shù)千個微米尺寸的LED芯片(陣列)被拾放。任何缺陷都可能導(dǎo)致像素壞死,使整個陣列變得無用。因此,必須使用幾乎無誤差的外延工藝,使缺陷最小化,支持高成品率和符合經(jīng)濟效益的Micro LED生產(chǎn)。
愛思強的新型G10-AsP外延工具經(jīng)過精心設(shè)計,旨在滿足這項應(yīng)用的特殊需求。這項全新工具是世界首款全自動AsP反應(yīng)器,提供全自動“檢測盒到檢測盒”(cassette-to-cassette)晶圓裝載以及基于原位蝕刻的清潔機制。這兩個特性結(jié)合在一起會對成品率產(chǎn)生顯著影響。此外,間歇式反應(yīng)器技術(shù)還為愛思強系統(tǒng)帶來了多項優(yōu)勢:其每片晶圓的生產(chǎn)成本在當(dāng)前市場上屬于最低級別,而單位潔凈室面積吞吐量為最高級別。同時,該新工具擁有精確的流量和溫度控制功能,能在連續(xù)運行時保持非常好的材料均勻性。
關(guān)于艾邁斯歐司朗
艾邁斯歐司朗集團(瑞士證券交易所股票代碼:AMS)是光學(xué)解決方案的全球領(lǐng)導(dǎo)者。我們?yōu)楣赓x予智能,將熱情注入創(chuàng)新,豐富人們的生活。這就是“傳感即生活”的意義所在。
我們擁有超過110年的發(fā)展歷史,以對未來科技的想象力為引,結(jié)合深厚的工程專業(yè)知識與強大的全球工業(yè)產(chǎn)能,長期深耕于傳感與光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域,持續(xù)推動創(chuàng)新。在汽車、消費、工業(yè)與醫(yī)療健康領(lǐng)域,我們致力于為客戶提供具有競爭力的解決方案,在健康、安全與便捷方面,致力于提高生活質(zhì)量,推動綠色環(huán)保。
我們在全球范圍擁有約2.2萬名員工,專注于傳感、照明和可視化領(lǐng)域的創(chuàng)新,使旅程更安全、醫(yī)療診斷更準(zhǔn)確、溝通更便捷。我們致力于開發(fā)突破性的應(yīng)用創(chuàng)新技術(shù),目前已授予和已申請專利超過15,000項。
集團總部位于奧地利Premstaetten/格拉茨,聯(lián)合總部位于德國慕尼黑。2021年,集團總收入超過50億歐元。ams-OSRAM AG在瑞士證券交易所上市(ISIN:AT0000A18XM4)。
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