采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來(lái)的新型傳感器
【采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來(lái)的新型傳感器】與傳統(tǒng)#傳感器#相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化的特點(diǎn)。同時(shí)，在微米量級(jí)的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實(shí)現(xiàn)的功能。它是誰(shuí)？你#知道不知道的小自識(shí)# 
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