【ZiDongHua 之品牌自定位收錄關(guān)鍵詞： 歐姆龍 半導(dǎo)體 工業(yè)自動化】
　　
　　電子品質(zhì)提升案例集 | 精細(xì)穩(wěn)定的溫度控制，助力品質(zhì)、產(chǎn)能雙提升
 
　　Components
 
　　
　　高級溫控（多點設(shè)備整合）方案
　　
　　多點化溫控，提升微細(xì)加工的生產(chǎn)品質(zhì)，同時保持設(shè)備緊湊
 
　　
　　課 題
　　
　　半導(dǎo)體逐漸微細(xì)化/積層化，生產(chǎn)流程也隨之逐漸復(fù)雜，溫度控制的重要性與日俱增。尤其是即使細(xì)微的溫度偏差和波動也會影響品質(zhì)，因此最小化溫度控制幅度至關(guān)重要。
　　
　　此外，由于精度提高，設(shè)備內(nèi)的溫度控制區(qū)域數(shù)量不斷增加，為確保設(shè)備占地面積保持不變，必須在控制柜內(nèi)的有限設(shè)備空間中高效配置，兼顧生產(chǎn)品質(zhì)和空間效率成為一大課題。
　　
　　高級溫控（狀態(tài)監(jiān)視）方案
　　
　　通過可視化的設(shè)備狀態(tài)監(jiān)視，實現(xiàn)細(xì)微化工藝段的穩(wěn)定生產(chǎn)
 
　　
　　課 題
　　
　　隨著半導(dǎo)體微細(xì)化 / 積層化，生產(chǎn)流程的精度與日俱增，對設(shè)備環(huán)境的變化也越來越敏感。然而，目前很難根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)過程中出現(xiàn)的品質(zhì)問題捕捉現(xiàn)象，對于生產(chǎn)周期較長的半導(dǎo)體生產(chǎn)流程而言，保障產(chǎn)品品質(zhì)穩(wěn)定成為一大課題。
　　
　　點擊查看解決方案
　　
　　高級溫控（小型多點控制）方案
　　
　　細(xì)微化工藝段中的多點化溫控，有助于提升品質(zhì)和生產(chǎn)效率
　　
　　課 題
　　
　　為實現(xiàn)高度數(shù)字化的社會，對半導(dǎo)體微細(xì)化/積層化的需求日益高漲，其生產(chǎn)流程也隨之逐漸復(fù)雜，因此溫度控制的重要性與日俱增。尤其是為了提高加工精度，需要實現(xiàn)更加精細(xì)的溫度控制。即使細(xì)微的溫度偏差和波動也會影響品質(zhì)，因此必須詳細(xì)掌握溫度變化。
　　
　　此外，隨著設(shè)備性能提高，必須增加控制點數(shù)，另一方面，還必須滿足維持產(chǎn)能和減少設(shè)備占地面積的需求，在保障品質(zhì)的同時縮減尺寸成為一大課題。
　　
　　高級溫度控制方案
　　
　　精細(xì)控制工序的溫度，同時兼顧品質(zhì)與產(chǎn)能
　　
　　課 題
　　
　　隨著半導(dǎo)體的微細(xì)化、積層化和二次電池的高容量化等，溫度控制的重要性與日俱增。為了提高加工精度，需要對溫度進(jìn)行更加精細(xì)的控制，調(diào)整溫度要花費大量時間，即使是細(xì)微的溫度偏差和波動也會影響品質(zhì)。
　　
　　相關(guān)產(chǎn)品
　　
　　NX系列高性能溫控單元
　　
　　溫度狀態(tài)監(jiān)視設(shè)備