中國電科國產(chǎn)離子注入機入選“2023年度央企十大國之重器”
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中國電科國產(chǎn)離子注入機入選“2023年度央企十大國之重器”
1月2日,“2023年度央企十大國之重器”評選結果揭曉,“中國電科實現(xiàn)國產(chǎn)離子注入機28納米工藝全覆蓋”成功入選。
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中國電科實現(xiàn)國產(chǎn)離子注入機28納米工藝全覆蓋
離子注入機是芯片制造中的關鍵裝備。在芯片制造過程中,需要摻入不同種類的元素按預定方式改變材料的電性能,這些元素以帶電離子的形式被加速至預定能量并注入至特定半導體材料中,離子注入機就是執(zhí)行這一摻雜工藝的芯片制造設備。當前,28納米是芯片應用領域中覆蓋面最廣的成熟制程。中國電科旗下中電科電子裝備集團有限公司連續(xù)突破光路、控制、軟件等關鍵模塊的核心技術,形成中束流、大束流、高能及第三代半導體等全系列離子注入機產(chǎn)品格局,實現(xiàn)了28納米工藝制程全覆蓋,切實保障國產(chǎn)芯片生產(chǎn)制造。
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以國產(chǎn)離子注入機為代表的“國之重器”
凝聚了中國電科日復一日的銳意進取、攻堅克難
2024年中國電科將繼續(xù)
提升自主創(chuàng)新能力
不斷開辟發(fā)展新領域新賽道
不斷塑造發(fā)展新動能新優(yōu)勢
為持續(xù)推動經(jīng)濟實現(xiàn)質的有效提升和量的合理增長
以中國式現(xiàn)代化全面推進強國建設、
民族復興偉業(yè)作出新貢獻
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