【ZiDongHua之自動(dòng)化學(xué)院派收錄關(guān)鍵詞：精密光學(xué) 集成電路 納米計(jì)量】
 
　　祝賀！我院本科生團(tuán)隊(duì)榮獲第十四屆“挑戰(zhàn)杯”中國(guó)大學(xué)生創(chuàng)業(yè)計(jì)劃競(jìng)賽全國(guó)銅獎(jiǎng)！
 
　　近日，同濟(jì)大學(xué)一大批學(xué)生科創(chuàng)成果亮相第十四屆“挑戰(zhàn)杯”中國(guó)大學(xué)生創(chuàng)業(yè)計(jì)劃競(jìng)賽，共摘得金獎(jiǎng)1項(xiàng)、銀獎(jiǎng)1項(xiàng)、銅獎(jiǎng)7項(xiàng)。其中，我院咫尺匠“芯”團(tuán)隊(duì)榮獲全國(guó)銅獎(jiǎng)。
 
 
　　作為物理學(xué)院優(yōu)勢(shì)獲獎(jiǎng)項(xiàng)目，該項(xiàng)目展示了我院面向先導(dǎo)產(chǎn)業(yè)“卡脖子“領(lǐng)域的最新科研進(jìn)展，充分體現(xiàn)了課程思政和前沿科研協(xié)同育人成效。同時(shí)，該項(xiàng)目的研究成果于2024年10月30日至31日參加了我國(guó)首屆計(jì)量?jī)x器裝備展（2024），在同濟(jì)大學(xué)/國(guó)家集成電路微納檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)業(yè)計(jì)量測(cè)試中心(上海)展臺(tái)展出。
 
 
　　項(xiàng)目名稱：
 
　　咫尺匠“芯”
 
　　——集成電路亞納米計(jì)量領(lǐng)軍者
 
　　項(xiàng)目成員：
 
　　朱宏宇、林子超、寧宣景、陳語(yǔ)彤、范本軒、王競(jìng)晨、陳哲騁
 
　　指導(dǎo)老師：
 
　　鄧曉、薛棟柏
 
　　項(xiàng)目簡(jiǎn)介：
 
　　納米計(jì)量是集成電路微納檢測(cè)設(shè)備量值溯源，誤差控制與測(cè)量準(zhǔn)確性的核心支撐。同濟(jì)大學(xué)物理科學(xué)與工程學(xué)院“咫尺匠芯”團(tuán)隊(duì)通過(guò)揭示自然常數(shù)物化、量值傳遞的物理規(guī)律，確立了以“量值傳遞扁平化”為核心的納米計(jì)量創(chuàng)新思路。歷經(jīng)四年研發(fā)，團(tuán)隊(duì)利用皮米級(jí)平均間距準(zhǔn)確性原子光刻光柵成功研制了極小非線性誤差的“自溯源型光柵干涉儀”。該儀器可以有效克服對(duì)嚴(yán)苛環(huán)境控制及空氣折射率校準(zhǔn)的依賴，具有優(yōu)于亞納米級(jí)的位移測(cè)量精度，并兼顧極高抗環(huán)境干擾能力的核心優(yōu)勢(shì)。研究成果現(xiàn)已實(shí)現(xiàn)微型、集成化，有望為集成電路量測(cè)設(shè)備提供現(xiàn)場(chǎng)計(jì)量校準(zhǔn)方案。
 
　　一路走來(lái)，團(tuán)隊(duì)成員們付出了大量心血，從項(xiàng)目構(gòu)想到方案設(shè)計(jì)，從反復(fù)論證到最終成果，每一步都充滿了挑戰(zhàn)與成長(zhǎng)。學(xué)院的支持和指導(dǎo)老師的耐心幫助，使得團(tuán)隊(duì)在創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)的道路上不斷前行，不斷突破，共創(chuàng)未來(lái)！
 
　　祝賀他們！競(jìng)賽雖落幕，創(chuàng)新不停歇，物理學(xué)子將砥礪前行，勇攀新高峰！
 
　　轉(zhuǎn)載自公眾號(hào)|同濟(jì)大學(xué)物理科學(xué)與工程學(xué)院